產品概要

Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設計，能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號占用空間僅11/8″，能節(jié)省寶貴的空間；結構堅固，是要求長期穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測量的理想選擇。與其他采用大體積封頭腔室的產品不同，Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設計。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至5 Ra（**7 Ra），確保表面平整且耐化學腐蝕，實現(xiàn)無污染氣體輸送。

■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI

特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·抗電磁干擾/ 射頻干擾，可防止誤停機
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認證，適用于潛在危險區(qū)域
·符合CE 標準要求
·符合RoHS 標準要求

應用
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導體過程工具